CV

学习经历：

2014.9-至今     北京大学前沿交叉学科研究院     博士研究生

2010.9-2014.7 吉林大学电子科学与工程学院     本科

科研简介：

研究方向为《基于大尺寸硅工艺平台的 Si 基 GaN 异质结构电子器件技术研究》。导师为北京大学产业技术研究院院长陈东敏教授，课题的联合指导老师为北京大学微电子研究所郝一龙教授和王茂俊副教授。

博士期间研究课题主要与深圳方正微电子有限公司、南方科技大学以及东莞中镓半导体公司合作，借助方正微电子有限公司 6 英寸 Si 工艺线，开发 Si CMOS 工艺兼容的适合产业化批量生产的技术方案，涉及器件隔离、Ohmic 电极、Schottky 电极，MIS 结、钝化、互联，器件布局等技术。

（1）提出的栅介质优先的工艺流程，配合良好的工艺控制，可实现大尺寸（6 寸）衬底上 90%以上的器件（MIS-HEMT）良率，器件性能达国际水平，该成果被 IEEE Transactions on Electron Devices (2018.9)接收发表。