牛津INCAX50 250.能谱仪主要优点及性能指标

1.50mm有效探测面积。在1nA常规电镜条件下获得20000CPS以上输入计数率，15000CPS以上的输出计数率，提高微量元素检出率和面扫描图清晰度

2.元素检测范围Be4-Am95

3.轻元素空间分辨率（面扫描图中轻元素颗粒的最小特征颗粒）达到50nm以下

4.全息面扫描（含每个像素的定量信息和X-Y位置，可离线分析和重新标识元素）清晰优于1024X1024

5.谱定性分析：对样品表明进行点/线和面的分析，具有完全无标样法以及有标样法处理，可以方便的得到归一化和非归一化结果

6.图像输出：可在能谱平台上采集电子图像，支持BMP、TIFF、JPEG、等流行图像格式对视场上任选区域进行能谱分析和线、面扫描，可得到元素的线分布、常规面分布、快速面分布和定量面分布

牛津EBSD系统功能

EBSD分析系统(Electron Back Scatter Diffraction)即背散射电子衍射花样分析系统通过对样品某一点的背散射电子所产生的菊花池样（EBSP），标定出该点的取向，以三个EuIer角的方式给出结果，通过面扫描、逐点标定样品中的每一点的取向，可以得到整个样品的取向信息。牛津EBSD系统有功能强大的后续数据处理软件“Channel5"

牛津Nodlys S EBSD系统主要优点及性能指标

1.空间分辨率0.1um（场发射电镜）

2.晶体学数据库可提选择，常规晶体学标样数量超过1万种，标配北美数据库

3.全自动织构定量分析和模拟软件能够在一个软件平台上同步采集EBSD和能谱数据，进行化学预过滤的指标化和相鉴定

4.交互式软件功能：将海量数据中有共性的数据或特征提出，进行单独作图，并与原出处对应;能后期对面扫描数据进行旋转校正。